主要技术指标：
样品台直径：
140mm
扫描长度行程：0.05~
20mm
样品厚度：最大
20mm
样品台位置：固定
垂直分辨率：1.5? /10μm； 15 / 100μm；62 / 400μm
横向分辨率：100nm（由探针确定）
垂直行程：最大400um
步高重复性：10, 或步高的 0.1%
每次扫描最大数据点数：60,000
样品观察：彩色相机
标称放大倍数：100X
探针尖端半径：2.0μm
探针压力范围：0.05-10mg可调
价值：4.5万USD
生产厂家：美国AMBIOS公司
